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在计量领域中，激光干涉仪可作为长度基准以及设备校准工具，广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。
中图仪器SJ6000激光位移干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。
产品配置
SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
主要镜组图
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
SJ6000激光位移干涉测量仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
传感器线性精度测量
可调转向镜应用实例斜床的倾斜轴测量
技术规格
| 稳频精度 | 0.05ppm |
| 动态采集频率 | 50 kHz |
| 预热时间 | ≤ 6分钟 |
| 工作温度范围 | (0~40)℃ |
| 存储温度范围 | (-20~70)℃ |
| 环境湿度 | (0~95)%RH |
| 线性测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
| 线性测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度轴向量程 | (0~15)m |
| 角度测量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度轴向量程 | (0~15)m |
| 平面度测量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m) |
| 直线度轴向量程 | 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m |
| 直线度测量精度 | 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度轴向量程 | 短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m |
| 垂直度测量精度 | 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事项：
平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组
平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可
短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组
长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组
直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量
